开元体育苏企成功研发国内首台全自动精抛立式清洗机

　　开元体育苏企成功研发国内首台全自动精抛立式清洗机苏报讯（记者 陈兆帅 通讯员 王洁）近日，位于吴中区的江苏芯梦半导体设备有限公司宣布，成功研发并交付了国内首台全自动精抛立式清洗机。

　　该公司长期深耕半导体湿法制程装备的研发和生产开元体育，先后推出国内首台全自动ENEPIG镍钯金化学镀设备、国内首台全自动FOUP清洗设备等多款高端湿法工艺装备。此次新推出的全自动精抛立式清洗机，专为高效清除化学机械抛光后表面的颗粒污染物而设计，其工艺精度已达19纳米级，展现公司在精密制造技术上的深厚底蕴。此款全自动精抛立式清洗机通过先进的机械设计与自动化控制系统的结合开元体育，极大提升清洗效率和质量开元体育，还确保了加工过程的高稳定性和可靠性。

　　当前，吴中区围绕半导体与集成电路产业，积极构建完善的产业生态链。区内企业如中科亿海微、炬佑智能、宝士曼等，在各自领域内不断突破，为国产半导体材料和设备的自主可控贡献了重要力量。随着奥康银华总部、苏州欧帝半导体专用设备项目等的入驻与推进，吴中区在射频基带一体化芯片、半导体专用设备等细分市场的布局也日益完善。